近日,臺積電在歐洲舉辦了一場技術(shù)論壇,吸引了眾多行業(yè)目光。在會上,該公司負責(zé)業(yè)務(wù)開發(fā)及全球業(yè)務(wù)的資深副總經(jīng)理張曉強發(fā)表了重要觀點,他透露,臺積電目前并未計劃在先進制程中引入High NA EUV技術(shù)。
張曉強進一步指出,臺積電最新推出的1.4nm級邏輯制程A14,即便沒有采用High NA EUV圖案化設(shè)備,其性能提升依然顯著。這一成果無疑增強了臺積電在先進制程技術(shù)領(lǐng)域的信心。
他強調(diào),臺積電的技術(shù)團隊正致力于通過優(yōu)化工藝,充分發(fā)揮Low NA EUV的潛力,以期在現(xiàn)有技術(shù)路徑上取得更多進展。只要這一方向能夠持續(xù)取得突破,臺積電就無需在量產(chǎn)中引入成本高昂的ASML High NA EUV系統(tǒng)。
值得注意的是,在先進制程技術(shù)領(lǐng)域,英特爾曾是對High NA EUV技術(shù)最為積極的倡導(dǎo)者之一。然而,即便是英特爾,在實際生產(chǎn)中應(yīng)用High NA技術(shù)時也表現(xiàn)得相對謹慎。據(jù)悉,與臺積電A14同等名義制程的Intel 14A就提供了使用或不使用High NA的兩種選項,這進一步體現(xiàn)了業(yè)界對于High NA EUV技術(shù)的審慎態(tài)度。